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投射光刻機氣動隔振系統有哪些方式
1、設計方案絕對高度更低：和傳統汽缸對比，增壓器的投射光刻機氣動隔振系統并沒有液壓油缸。設計方案含有什么方法可以大幅度降低彈簧的絕對高度？使構造更緊密。
2、無電源適配器的好姿態：工業設備氣襄扭力彈簧的傾斜視角做到30°，便捷設計師設計方案連接組織計劃方案。（注：假如設施的規格型號和規格不一樣，許可的俯仰角也不一樣。）
3、型號選擇低成本：和傳統汽缸對比彈簧，氣體增壓器彈簧不僅低成本，并且使用期限長，免維修保養空氣彈簧減震器哪里好，成本費可控性。
4、無磨擦免維護保養：即便在嚴酷的應用情況下彈簧，彈簧也可以正常的工作中。因為打氣筒內并沒有互相摩擦的構件（液壓密封件），因此就算在有很多塵土、細微顆粒物或沉淀的條件下都不容易損壞。
5、結合實際出色的疲憊減輕：氣囊彈簧在動態性前提下也十分耐疲憊，由于這類氣囊用以各種各樣化工品的生產制造普遍的應用和檢查，即使他們是不容易受天氣和外部環境的危害。就算承載力大，工業設備仍能維持較長的使用年限。
6、氣體增壓器投射光刻機氣動隔振系統的氣軸抗壓強度可達30mm，在該地區工作時可始終保持。與汽缸或液壓油缸不一樣，汽缸不容易紙卡或受損液壓密封件，都不應用易受塵土與別的碎渣損傷的滾桶。
7、便于組裝：當不除塵時，氣囊投射光刻機氣動隔振系統組裝迅速輕輕松松，省時省力、時間精力和成本費。除此之外，該元器件具有較強的延展性，可以賠償細微的誤差。