SSX600系列步進掃描投影光刻機氣動隔振系統性

SSX600系列步進掃描投影光刻機氣動隔振系統塑膠試片工藝性能試驗(1)拉伸實驗氣動隔振系統的抗拉強度的時效性轉變那樣,步進掃描投影光刻機氣動隔振系統氣囊的抗拉強度伴隨著使用壽命問的問題的增加大概說明降低的趨勢,應用16年以后也發現了，一些試樣的抗拉強度下降50百分比上下。那樣,抗拉強度減少50百分比之上則可認定是顯著的降低。在氣襄工藝性能方面，針對超過本試驗階段的應用，要進行慎重考慮。

詳細的分析每個老化趨向時，確定了以下老化特點先,在中間，①面、②面垂直及水平方向強度都有降低,①面降低水準略大些。步進掃描投影光刻機氣動隔振系統主要原因可以稱作橫著搖晃產生的影響，與此同時也可以稱之為紫外線的危害。進而結論得知，氣囊中間是很容易變形消化振動的主要一部分。

其次,相關上端,其水不角度的抗拉強度使用4年里，雖然也有一-定初期老化,但應用13年~16年以后，①面、②面抗拉強度降低量均比較小。與其相符合，相關.上端垂直方向,其①面、②面抗拉強度的下降量與中間一樣,變形比較大。進而結論得知，上端在設備運轉中,①面、②面二者都為垂直方向的震動影響很大,而水平方向的震動危害則比較小。相關下邊,①面抗拉強度的下降,在垂直和水平方向均比較大，而②面無論哪個地方均比較小。那可確定根本原因是下邊橫著搖晃所導致的疲倦要素大因此，步進掃描投影光刻機氣動隔振系統氣囊下邊常采用將零配件迅速地固定在牽引電機上。由此可以確定,氣囊下邊隨著牽引電機與機器的相對震動偏移承受了激烈的運動。牽引電機與機械設備間的比較大震動一般是機器的縱向及橫著(橫著搖晃)運動，機器的縱向受設備及牽引電機框架的彎曲剛度所管束，其運動獲得限制。另一方面，氣動隔振系統由于運行時曲線圖中的搖晃等因素,機械設備方位運動很容易擴大因此可以確定，下邊②面震動負荷小又下邊①面震動負荷則比較大。