硅片邊緣曝光設備氣動隔振器的日常維護

硅片邊緣曝光設備氣動隔振器空氣濾清是用以除掉甲醛的，空氣濾清務必準時除掉。下面給朋友們解讀幾類過濾裝置的除掉方法，維持過濾裝置的除掉。

一：氣動隔振器加溫過濾裝置的除掉方法

加溫過濾裝置一般每個月務必除掉1~2次。清理時，目前的濾網務必拆下來，用吸塵器或純棉毛巾將灰塵清理干凈整潔；倘若表明濾網能夠水清理，能夠用冷水除掉，接著脫干或用吹風機烘干處理后再倒入空氣凈化機等，就能正常的運用。

二：HEPA濾網的除掉方法

硅片邊緣曝光設備氣動隔振器濾網不能用水除掉，除非是有特別要求。因為中國空氣污染較為嚴重，空氣質量指數較差，HEPA過濾裝置的很長應用時限一般僅有3個月甚至更短，因此務必更經常地拆卸HEPA過濾裝置。但是用除塵設備除掉還可以在一定程度上提升其運用時限，但倘若一般白的HEPA濾網表層趨于變黑，就意味著務必拆卸。為了方便確保空氣濾清的性能和你的身心健康，請立刻拆卸。

三：石英砂過濾裝置的除掉方法

石英砂過濾設備也需要經常拆卸，防止吸附飽和，每六個月更換一次；還可以按時拆下來，放入太陽底下，維持凈化處理處理預期效果，提高運用時限。

硅片邊緣曝光設備氣動隔振器過濾裝置不適合運用好長時間，一段時間后應拆卸。周期一般為三個月。

空氣濾清是用以除掉甲醛的，空氣濾清務必準時除掉。下面給朋友們解讀幾類過濾裝置的除掉方法，維持過濾裝置的除掉。